반도체 장비 성능개선 목적…부품 적용 확대 모색

이희범 두산에너빌리티 전략·혁신 부문장(왼쪽)과 이명범 원익IPS 선행개발본부 총괄이 ‘적층제조 기술 교류 및 연구 추진’ 양해각서 체결 후 서명하고 있다./두산에너빌리티 제공
이희범 두산에너빌리티 전략·혁신 부문장(왼쪽)과 이명범 원익IPS 선행개발본부 총괄이 ‘적층제조 기술 교류 및 연구 추진’ 양해각서 체결 후 서명하고 있다./두산에너빌리티 제공

두산에너빌리티는 반도체 장비 전문회사 원익IPS와 금속 적층제조(AM) 기술 교류 및 공동 연구를 위한 양해각서(MOU)를 체결했다고 30일 밝혔다.

양사는 이번 MOU로 차세대 화학증착설비(CVD)에 적용할 AM 제작 부품의 성능 평가를 실시하고, 나아가 검증용 시제품을 설계하고 제작할 계획이다.

또한 금속 AM 품질 관리 기준에 적합한 품질문서 개정에 협력하는 등 반도체 시장의 요구사항을 계속적으로 충족시키겠다는 방침이다.

적층제조는 금속 분말을 층층이 쌓아 금속 소재부품을 제조하는 기술로 3D 프린팅으로 불리기도 한다.

시장조사 전문 업체인 AM 리서치에 따르면 글로벌 기준 반도체 분야 AM 시장은 2024년 약 2300억원에서 2032년 약 2조원 규모로 연평균 26% 이상 성장할 것으로 전망된다.

두산에너빌리티는 앞서 2014년 발전용 가스터빈 납품 과정에서 AM 기술을 도입한 이래 사업 영역과 파트너십을 꾸준히 확대하고 있다. 지난해는 싱가포르에 본사를 둔 선박·해양 분야 부품 발주 플랫폼 운영사인 펠라구스 3D와 MOU를 체결했고, 2022년엔 세계 1위 금속 3D 프린터 기업 독일 EOS와 기술개발 및 마케팅 협력 MOU를 맺었다.

송용진 두산에너빌리티 전략혁신 부문장은 "반도체 장비 성능 개선을 위한 기술 개발 목적으로 이번 MOU를 체결했다"며 "AM 적용 분야가 기존 가스터빈, 방산 외에 반도체로 확대되는 가운데 적극적으로 시장 개척에 나서겠다"고 말했다.

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